當前標簽:電感耦合高頻等離子體光源設備
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高頻等離子體發生器是通過高頻發生器的作用產生高頻振蕩磁場,供給等離子體能量。當高頻電源與圍繞在等離子炬管外的負載應線圈接通時,高頻感應電流流過線圈,產生軸向高頻磁場。此時向矩管的外管內切